后来发现了应变计,---是随着微电子的技术发展,利用半导体材料的压阻效应和弹性与集成电路工艺,研制出了半导体力和压力传感器,使这类传感器有了长足的进步。普遍应用的力敏传感器有电阻式、压电式、电容式、变磁阻式、光纤式等。近几年又发展了声表面波压力传感器、磁致伸缩型压力传感器、电位式压力传感器等电气传感器。
基于半导体光电效应的光电转换传感器,又称光电敏感器。采用光、电技术能实现无接触、远距离、快速和测量,因此半导体光敏元件还常用来间接测量能转换成光量的其他物理或化学量。半导体光敏元件按光电效应的不同而分为光导型和光生伏打型(见光电式传感器)。
力敏元件及传感器广泛用于各工业生产部门和科学实验研究中。力敏元件及传感器品种规格繁多,可以按不同的方法进行分类,传统的、测量力的方法是利用弹性元件的形变和位移来表示的,其特点是成本低、不需要电源,但体积大、笨重、输出为非电量。
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